18吋晶圓14奈米研發人員 進駐臺大竹北分部校區
地方中心/新竹報導
臺大土木系「高科技廠房設施研究中心」研發人員將於5月中旬進駐竹北分部校區台灣半導體產業及相關產業,預期將在3至5年內進入18吋(450mm)晶圓之量產及14奈米之製程。這種具前瞻性的大幅發展,不但將提升台灣在國際間的競爭力,促使台灣其他產業技術之升級,增益台灣地區的經濟成長,同時,也將使台灣擁有更卓越領先的國際科技地位,甚至成為許多國家仿效的基準楷模。
由於廠房設施的設計建造,也是半導體晶圓製造不可或缺的先決條件之一,為了從廠房設施的角度,協助台灣半導體產業及相關產業提昇到18吋晶圓之量產及14奈米之製程,臺灣大學土木系「高科技廠房設施研究中心」,特在臺大竹北分部成立18吋晶圓14奈米研發團隊。首批研發人員將於5月中旬進駐,展開研發實驗工作。
進駐之18吋晶圓14奈米研發人員,將針對空氣分子污染(Airborne Molecular Contamination,AMC)、微振動(Microvibration) 、電磁波干擾(Electro-Magnetic Interference, EMI)、綠廠房(Green Fab)、廠房資訊模型及模擬(Fab Information Modeling, FIM)等等先進關鍵技術深入研究探討。
臺大竹北分部的18吋晶圓14奈米研發團隊係跨領域的組合,成員將包括來自機械、土木、電機、環工、化工、工業工程、化學、物理、材料、生物,藥劑等等不同院系之教授、學者、專家及博碩士研究生。這個研發團隊將由臺大土木系張陸滿教授(如下圖,翻攝自臺大土木系網頁)負責整合協調。
張陸滿教授係新竹湖口張六和宗族之子孫。在1974到1977年間服務於工研院,曾負責工研院頭重埔中興院區的規劃監造,並是當年第一批被工研院派赴美國RCA公司取經的30多位人士之一,吸取建廠經驗後,返回協助電子研究中心設計建造台灣第一座積體電路示範工廠。爾後,張教授即赴美深造,並曾先後在美國佛羅里達大學的建築學院營建系任教2年半及普渡大學土木工程系營建工程管理組任教23年。


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