光譜影像相關比對式共焦形貌量測系統及方法
  ‧ 專利名稱 光譜影像相關比對式共焦形貌量測系統及方法
  ‧ 專利證書號 I653440
  ‧ 專利權人 國立臺灣大學
  ‧ 專利國家
    (申請日)
中華民國 (2017/12/27)
  ‧ 發明人 陳亮嘉, 譚培汝,
 
技術摘要:
本發明提供一種藉由偵測光譜影像圖案之高速全域式光學系統與物體表面或內部光反射介面三維形貌偵測方法。本發明利用精密參考深度位移進行各個深度所對應光譜影像圖案之紀錄,以形成具有複數個光譜影像圖案資料庫。再根據每一個感測陣列所得到的複數測物光所形成關於一位置之光譜影像圖案,與複數個光學比對樣本資訊之正歸化影像匹配運算,以決定對應該光譜影像圖案之被測位置的深度資訊。



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