可授權技術分類

 
 生醫農健   (964)
 
+ 農業 (195)
+ 醫療器材 (288)
+ 篩選平台 (79)
+ 藥物 (189)
+ 基因體學 (50)
+ 研究工具 (83)
+ 技術 (102)
+ 食品加工 (6)
+ 於手持式裝至進行醫學教育之app開發與應用 (1)
+ 循環農業 (1)
 電資通光   (972)
 
-  電子光電 (307)
 
‧ 光資訊技術 (47)
‧ 光電半導體技術 (76)
‧ 平面顯示技術 (32)
‧ 背光技術 (11)
‧ 軟性電子技術 (27)
‧ 光學技術(含鏡片材料) (52)
‧ 電子及光電構裝技術 (33)
‧ 矽基半導體技術 (54)
‧ 電磁/光電訊號檢測 (48)
‧ 奈米電子技術 (40)
‧ 電子元件散熱技術 (20)
‧ 照明、軟性顯示/照明、發光元件 (1)
‧ 電磁干擾抑制技術 (1)
‧ xx (1)
‧ 電力電子 (1)
‧ 電路設計技術 (1)
‧ xx (1)
‧ xx (1)
‧ 浮空顯示技術 (1)
‧ 量子運算技術 (1)
‧ 擴增實境 (1)
‧ 電壓轉換與調節技術 (1)
‧ 記憶體內運算技術 (1)
‧ xx (1)
‧ 鋰電池 (1)
+ 資訊通訊 (348)
 機能材化   (1134)
 
+ 材料化工 (303)
+ 能源環工 (258)
+ 機械儀設 (194)
+ xx (3)
   
量測關鍵尺寸的光學量測系統與方法
 刊登日期：2025/09/21
  ‧ 專利名稱 量測關鍵尺寸的光學量測系統與方法
  ‧ 專利證書號 I898876
  ‧ 專利權人 國立臺灣大學
  ‧ 專利國家
    (申請日)		 中華民國 (2024/10/16)
 
  ‧ 發明人/PI 陳亮嘉,楊福生,
  ‧ 單位 機械工程學系
  ‧ 簡歷/Experience
技術摘要 / Our Technology：
本案提供一種量測關鍵尺寸的光學量測系統與方法，利用寬頻光源對於高深寬比微結構進行照明，取得角度、光譜資訊，同步形成背焦影像，進而提高橫向關鍵尺寸的精準度。
專利簡述 / Intellectual Properties：



 

聯繫方式 / Contact：
臺大產學合作總中心 / Center of Industry-Academia Collaboration, NTU
Email：ordiac@ntu.edu.tw 電話/Tel：02-3366-9945
 
 
國立臺灣大學 研發處產學合作總中心　10617臺北市大安區羅斯福路四段1號　禮賢樓六樓608室　TEL:(02)3366-9988
© 2010-2024 NTU All Rights Reserved     著作權聲明                                本系統採用專利行銷平台