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最適傾角之高精確掃描雙探針原子力顯微鏡

刊登日期：2017/05/11

技術摘要：

本發明提供一種原子力顯微鏡掃描方法，適用於一具有雙探針之原子力顯微鏡，包括：將該些探針進行對位；分別調整該些探針的一傾角適於掃描一試片；分別以一探針掃描該試片以取得一筆掃描資料；及合併該兩筆掃描資料，以獲得該試片上的表面微結構形狀或微特性。

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