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Precise Digital Etching with High Conformity

刊登日期：2017/09/26

‧ 專利名稱
‧ 專利證書號	9,773,662
‧ 專利權人	國立臺灣大學
‧ 專利國家 (申請日)	美國 (2016/06/03) 中華民國 (2016/11/09) 中國 (2017/05/17)
‧ 發明人	陳敏璋, 鄭柏賢,

技術摘要：

聯繫方式

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