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電漿產生裝置

刊登日期：2016/08/01

‧ 專利名稱	一種電漿產生裝置與其製備方法
‧ 專利證書號	I569690
‧ 專利權人	國立臺灣大學
‧ 專利國家 (申請日)	中華民國 (2015/01/23) 美國 (2015/07/23)
‧ 發明人	徐振哲, 楊曜禎, 高鵬凱, 林子軒, 王誌君,

技術摘要：

本發明提供一種電漿產生裝置，其包含一高電壓驅動組件、一絕緣基板，以及二電極單元。本發明另提供一種電漿產生裝置的製備方法，其包含以下步驟：準備一絕緣基板，該絕緣基板具有一第一表面以及一第二表面；分別設置一電極單元於該第一表面與該第二表面上；以及準備一高電壓驅動組件，並與該兩電極單元電性連接，藉以形成一電漿產生裝置。相較於習知技術，本發明得以利用相對簡單的製程，無需使用精密設備或工具機來製備電漿產生裝置，具有製程簡易，降低成本之功效。

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