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壓力感測薄膜結構裝置及其方法

刊登日期：2016/08/21

‧ 專利名稱	壓力感測薄膜、結構、裝置及其製造方法
‧ 專利證書號	I546527
‧ 專利權人	國立臺灣大學
‧ 專利國家 (申請日)	中華民國 (2015/07/17)
‧ 發明人	楊燿州,

技術摘要：

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