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表面處理裝置及方法

刊登日期：2014/11/16

‧ 專利名稱	表面處理裝置及方法
‧ 專利證書號	I489517
‧ 專利權人	國立臺灣大學
‧ 專利國家 (申請日)	中華民國 (2013/05/07) 美國 (2013/11/08)
‧ 發明人	徐振哲, 王誌君, 楊曜禎,

技術摘要：

本發明係關於一種透過電漿以進行表面處理的裝置與方法。本發明利用細長及/或可撓之電極產生電漿，以對各式管材的外壁或細狹中空內壁進行表面處理。

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