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 電漿產生裝置
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刊登日期：2015/07/28 |
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| ‧ 專利名稱 |
一種電漿產生裝置與其製備方法 |
| ‧ 專利證書號 |
I569690
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| ‧ 專利權人 |
國立臺灣大學 |
‧ 專利國家
(申請日) |
中華民國 (2015/01/23)
美國 (2015/07/23)
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| ‧ 發明人/PI |
徐振哲,楊曜禎,高鵬凱,林子軒,王誌君,
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| ‧ 單位 |
化學工程學系
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| ‧ 簡歷/Experience |
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| 技術摘要 / Our Technology： |
本發明提供一種電漿產生裝置，其包含一高電壓驅動組件、一絕緣基板，以及二電極單元。本發明另提供一種電漿產生裝置的製備方法，其包含以下步驟：準備一絕緣基板，該絕緣基板具有一第一表面以及一第二表面；分別設置一電極單元於該第一表面與該第二表面上；以及準備一高電壓驅動組件，並與該兩電極單元電性連接，藉以形成一電漿產生裝置。相較於習知技術，本發明得以利用相對簡單的製程，無需使用精密設備或工具機來製備電漿產生裝置，具有製程簡易，降低成本之功效。
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| 專利簡述 / Intellectual Properties： |
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聯繫方式 / Contact： |
| 臺大產學合作總中心 / Center of Industry-Academia Collaboration, NTU |
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| Email：ordiac@ntu.edu.tw |
電話/Tel：02-3366-9945 |
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