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晶圓傳送裝置

刊登日期：2014/05/21

‧ 專利名稱	晶圓傳送裝置
‧ 專利證書號	I460810
‧ 專利權人	國立臺灣大學
‧ 專利國家 (申請日)	中華民國 (2012/08/07)

‧ 發明人/PI	鍾添東,顏家鈺,伍偉銘,陳藝丰,凃怡婷,盧治綱,
‧ 單位	機械工程學系
‧ 簡歷/Experience

技術摘要 / Our Technology：

一種晶圓傳送裝置,包括兩側邊具有V形側凸緣之矩形晶圓載台、載台夾持器以及傳送桿。該傳送桿利用傳送架吸附且固定該矩形晶圓載台,以將該矩形晶圓載台於主腔體及傳送腔體間來回傳送。該載台夾持器包含夾持基座、導螺桿、導引頭以及具有V形夾持槽之至少二夾持頭,其中,當該導螺桿旋轉時,能帶動該導引頭及複數連動桿,以使該夾持頭作動,令該V型夾持槽密合該矩形晶圓載台之V形側凸緣以固定該矩形晶圓載台。本發明之晶圓傳送裝置能使晶圓以更快速、方便及穩固之方式於主腔體和傳送腔體之間來回移動,以避免習知技術中定位偏差之問題,進一步提升晶圓之良率及生產效率。

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