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粒子束狀態監測系統

刊登日期：2014/05/21

‧ 專利名稱	粒子束狀態改變監測系統及其方法
‧ 專利證書號	I452598
‧ 專利權人	國立臺灣大學
‧ 專利國家 (申請日)	中華民國 (2011/11/02) 美國 (2011/11/02)

‧ 發明人/PI	蔡坤諭,陳勝勇,顏家鈺, 陳永耀,范期翔,
‧ 單位	電機工程學系
‧ 簡歷/Experience

技術摘要 / Our Technology：

本發明提供一種一或多道粒子束的狀態改變監測系統,其包括複數個粒子感測器及一監測單元,其中一或多道粒子束撞擊至一待寫基板。該等粒子感測器感測自該基板反彈的該一或多道粒子束,以產生一或多個感測訊號。該監測單元根據該一或多個感測訊號估測該一或多道粒子束的狀態變化。藉此一設置及監測方法,本發明系統可以監測多道粒子束,並達到粒子束位移準確度。

This invention provides a system for estimating change of status of one or a plurality of particle beams, the system comprises a plurality of particle detectors and an estimating unit, wherein one or a plurality of particle beams is being projected to a substrate. The particle detectors detect the one or the plurality particle beams reflected from the substrate to generate one or a plurality of detected signals. The estimating unit estimates change of the status of the one or the plurality of particle beams according to the one or the plurality of detected signals. By such arrangement and estimating method, the system could estimate multiple beams and achieve beam placement accuracy.

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