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 感光性聚醯亞胺/氧化矽有機無機混成薄膜材料其製備方法及其用途
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刊登日期：2014/05/21 |
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| ‧ 專利名稱 |
感光性聚醯亞胺/氧化矽有機無機混成薄膜材料其製備方法及其用途 |
| ‧ 專利證書號 |
I258056
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| ‧ 專利權人 |
國立臺灣大學 |
‧ 專利國家
(申請日) |
中華民國 (2003/12/31)
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| ‧ 發明人/PI |
陳文章,顏誠廷,王育文,謝國煌,
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| ‧ 單位 |
高分子科學與工程學研究所
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| ‧ 簡歷/Experience |
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| 技術摘要 / Our Technology： |
本發明有關一種感光性聚醯亞胺/氧化矽有機無機混成薄膜材料其製備方法及其用途，該方法主要包括藉由溶膠凝膠法製備聚醯胺酸/氧化矽有機無機混成材料，其中聚醯胺酸部份藉由導入一末端含不飽和基團之三級胺，與聚醯胺酸形成酸鹼離子鹽類，與氧化矽進行混成以得到感光性聚醯亞胺/氧化矽有機無機混成薄膜材料。進行光學微影製程後，進行烘烤固化以得到聚醯亞胺/氧化矽有機無機混成薄膜材料所形成之圖型。依據本發明方法製得之薄膜材料具有優異耐熱性、低熱膨脹係數、低介電常數與極佳之光學性質，並具良好之微影解析度與尺寸穩定度。本材料可用於微電子與半導體元件，包括印刷電路板，軟性電路板，半導體介電層材料；以及光電元件，包括液晶螢幕分隔片(Spacer)，光學波導，光波導連接器等用途上。
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| 專利簡述 / Intellectual Properties： |
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聯繫方式 / Contact： |
| 臺大產學合作總中心 / Center of Industry-Academia Collaboration, NTU |
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| Email：ordiac@ntu.edu.tw |
電話/Tel：02-3366-9945 |
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