粒子束狀態估測方法與裝置
  ‧ 專利名稱 粒子束狀態改變之估測裝置及其方法
  ‧ 專利證書號 I441233
  ‧ 專利權人 國立臺灣大學
  ‧ 專利國家
    (申請日)
美國 (2011/11/02)
中華民國 (2011/11/04)
 
  ‧ 發明人/PI 蔡坤諭,陳勝勇,
  ‧ 單位 電機工程學系
  ‧ 簡歷/Experience
技術摘要 / Our Technology:
本發明揭露一種估測一或多道粒子束狀態改變之裝置,該裝置包含多個粒子感測器以及一估測單元,其中一或多道粒子束撞擊至一基板。粒子感測器偵測從該基板反彈之該一或多道粒子束,並對應產生一或多個感測器信號。估測單元根據該一或多個感測器信號執行一數值規劃方法,以估測該一或多道粒子束之狀態改變。透過這樣的排列和監測方法,該裝置可以估測粒子束之飄移。

This invention provides an apparatus for estimating change of status of a plurality of particle beams, the apparatus includes a plurality of particle detectors and an estimating unit, wherein the one or the plurality of particle beams is projected to a substrate. The particle detectors detect the one or the plurality of particle beams reflected from the substrate to generate one or a plurality of detector signals. The estimating unit estimates change of the status of the one or the plurality of particle beams by executing a mathematical programming method according to the one or the plurality of detector signals. By such arrangement and monitoring method, the apparatus could estimate the drift of beams.




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