Self-focused ion beam lithography using dielectric lens
刊登日期:2017/01/19
  ‧ 專利名稱
  ‧ 專利證書號 9,666,441
  ‧ 專利權人 國立臺灣大學
  ‧ 專利國家
    (申請日)
美國 (2015/09/14)
 
  ‧ 發明人/PI 陳敏璋
  ‧ 單位 台積電-臺灣大學聯合研發中心
  ‧ 簡歷/Experience
技術摘要 / Our Technology:




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