Area-selective Atomic Layer Deposition
刊登日期:2022/11/22
  ‧ 專利名稱 Area-selective Atomic Layer Deposition
  ‧ 專利證書號 US11508572B2
  ‧ 專利權人 國立臺灣大學
  ‧ 專利國家
    (申請日)
 
  ‧ 發明人/PI 陳敏璋
  ‧ 單位 台積電-臺灣大學聯合研發中心
  ‧ 簡歷/Experience
技術摘要 / Our Technology:




專利簡述 / Intellectual Properties:




 

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