化學工程學系 - 徐振哲

專業技術:
電漿科學與應用


研究介紹
  ◎研究主題
  電漿科學與應用
本研究室的研究著眼於低溫電漿在基礎科學與應用方面的研究。低壓電漿在半導體業,光電業,LCD面板製造業等多種工業上被廣泛地應用,包含蝕刻,薄膜製備,表面改質與污染物處理等。我們目前的研究工作著重於以下三部份:
1.電漿製程技術
2.薄膜與奈米材料製備技術
3.電漿數值模擬

在基礎研究方面,我們以實驗與數值模擬之方式研究電漿化學、電漿物理以及電漿與表面之交互作用。在應用領域方面,我們以電漿從事材料製程與表面改質等工作,進而探討電漿對整個製程與材料特性的影響。藉由基礎與應用方面研究的整合,我們將探討電漿製程於工程應用上與基礎科學相關的若干課題。
  ◎ 最新研究
  1.大氣電漿的檢測與數值模擬及其在奈米粉體製程上的應用 (Diagnostic Study and Numerical Simulation of Atmospheric Pressure Plasmas and the Applications to Nanoparticle Fabrication) 國科會NT 1,066,000, 08/01/2009-07/31/2010

2.常壓中空陰極電極特性模擬研究(Simulation of Atmospheric Pressure Hollow Cathode Plasmas) 行政院原委會核研所 NT 500,000, 04/01/2009~12/31/2009
   
   
專利授權區
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可交易技術