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具有高真球度之自對準探針及其製造方法

刊登日期：2014/05/21

‧ 專利名稱	具有高真球度之自對準探針及其製造方法
‧ 專利證書號	I369578 US 8,240,057
‧ 專利權人	國立臺灣大學
‧ 專利國家 (申請日)	中華民國 (2007/10/29) 美國 (2008/04/22)
‧ 發明人	施文彬, 蔡燿全, 張鐸儒, 操禮齊, 吳明道, 施博仁,

技術摘要：

一種具有高真球度之自對準探針之製造方法包含以下步驟：在一基板上形成一高分子層；置放一球體於高分子層上；軟化高分子層，以使球體之一部分埋入至高分子層中；於高分子層上形成一特定光線吸收層；以一特定光線照射球體及特定光線吸收層，使特定光線受球體聚焦來對高分子層曝光，使高分子層形成一曝光部分及一未曝光部分；移除特定光線吸收層；及烘烤高分子層，然後移除未曝光部分。本發明亦提供一種具有高真球度之自對準探針。

A method of manufacturing a self-aligned stylus with high sphericity includes the steps of: forming a polymeric layer on a substrate; placing a sphere on the polymeric layer; softening the polymeric layer to make a portion of the sphere sink into the polymeric layer; forming a specific light absorbing layer on the polymeric layer; illuminating the sphere and the specific light absorbing layer with specific light such that the specific light is focused by the sphere to expose the polymeric layer to form an exposed portion and an unexposed portion; removing the specific light absorbing layer; and baking the polymeric layer and then removing the unexposed portion. A self-aligned stylus with high sphericity is also disclosed.

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