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差動濾波式彩色共焦量測系統

刊登日期：2014/12/21

‧ 專利名稱	差動濾波式彩色共焦量測系統
‧ 專利證書號	I465683 10,082,655
‧ 專利權人	國立臺灣大學
‧ 專利國家 (申請日)	中華民國 (2013/08/20) 美國 (2014/08/20)
‧ 發明人	陳亮嘉, 林俊達,

技術摘要：

一種差動濾波式彩色共焦量測系，其係利用一色散物鏡接收來自一光源模組之寬頻光，以產生軸向色散投射至一待測物而反射形成一測物光，並經由一光調制模組分光而形成第一與第二測物光，然後再藉由一對光強度感測模組，感測該第一與第二測物光，以得到複數個第一與第二光強度訊號。每一光強度感測模組具有一空間濾波元件，每一空間濾波元件大小(直徑或寬度)不相同。該訊號處理單元分別對每一個第一光強度訊號以及相對應的第二光強度訊號進行一訊號處理，以得到複數個差動強度訊號比，並決定每一差動強度訊號比對應之量測位置深度。

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