光學頭
  ‧ 專利名稱 光學頭
  ‧ 專利證書號 I461741
US 8,625,949
  ‧ 專利權人 國立臺灣大學
  ‧ 專利國家
    (申請日)
中華民國 (2011/11/09)
美國 (2012/03/15)
  ‧ 發明人 李世光, 簡志仁, 李侑勳, 陳俊諺 , 游育諺 , 陳德薰 ,
 
技術摘要:
一種光學頭,係包括中空微管體與填塞件,該微管體具有大管徑部及與其相接之管徑漸縮部,且係用以將入射光由該大管徑部傳遞至管徑漸縮部,並由該管徑漸縮部之尖端出光,而該填塞件係設置於該微管體內。相較於習知技術,本發明之光學頭較易於製作,而有助於成本的降低,且本發明之光學頭能有效進一步聚焦,而達成次波長光點尺寸與長焦點深度的光學曝光目的。
Disclosed is an optical head, including a hollow micro-pipe and a stuffing member, the micro-pipe having a diameter-extended portion and a diameter-diminishing portion adapted allowing the incident light to transmit from the diameter-extended portion to the diameter-diminishing portion to emerge from its tip, and the stuffing member being disposed inside of the micro-pipe compared to prior techniques. The optical head of the invention is easier to be made, and it has a better focus for achieving optical exposure of sub-wave length focal spot and deep depth of focus.




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