最適傾角之高精確掃描雙探針原子力顯微鏡
刊登日期:2014/05/21
  ‧ 專利名稱 原子力顯微鏡掃描方法
  ‧ 專利證書號 I582429
  ‧ 專利權人 國立臺灣大學
  ‧ 專利國家
    (申請日)
中華民國 (2015/1/9)
 
  ‧ 發明人/PI 傅立成,吳俊緯,林奕廷,羅宇廷,劉韋志
  ‧ 單位 電機工程學系
  ‧ 簡歷/Experience
技術摘要 / Our Technology:
本發明提供一種原子力顯微鏡掃描方法,適用於一具有雙探針之原子力顯微鏡,包括:將該些探針進行對位;分別調整該些探針的一傾角適於掃描一試片;分別以一探針掃描該試片以取得一筆掃描資料;及合併該兩筆掃描資料,以獲得該試片上的表面微結構形狀或微特性。



專利簡述 / Intellectual Properties:




 

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