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synthesis of large area 2Dmaterial on dielectric films by low temperature MW-PECVD
 刊登日期：2023/08/11
  ‧ 專利名稱 積體電路裝置及其形成方法
  ‧ 專利證書號 I812096
  ‧ 專利權人 國立臺灣大學
  ‧ 專利國家
    (申請日)		 中華民國 (2022/03/22)
 
  ‧ 發明人/PI 吳志毅
  ‧ 單位 台積電-臺灣大學聯合研發中心
  ‧ 簡歷/Experience
技術摘要 / Our Technology：



專利簡述 / Intellectual Properties：



 

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臺大產學合作總中心 / Center of Industry-Academia Collaboration, NTU
Email：ordiac@ntu.edu.tw 電話/Tel：02-3366-9945
 
 
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