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ALD assisted non-resist charged particle beam patterning
 刊登日期：2016/07/11
  ‧ 專利名稱
  ‧ 專利證書號 I541860B
9934969B2
10615036B2
  ‧ 專利權人 國立臺灣大學
  ‧ 專利國家
    (申請日)		 美國 (2014/06/13)
中華民國 (2014/12/24)
美國 (2018/03/28)
 
  ‧ 發明人/PI 陳敏璋,蔡坤諭,
  ‧ 單位 台積電-臺灣大學聯合研發中心
  ‧ 簡歷/Experience
技術摘要 / Our Technology：



專利簡述 / Intellectual Properties：



 

聯繫方式 / Contact：
臺大產學合作總中心 / Center of Industry-Academia Collaboration, NTU
Email：ordiac@ntu.edu.tw 電話/Tel：02-3366-9945
 
 
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