感光性聚醯亞胺/氧化矽有機無機混成薄膜材料其製備方法及其用途
  ‧ 專利名稱 感光性聚醯亞胺/氧化矽有機無機混成薄膜材料其製備方法及其用途
  ‧ 專利證書號 I258056
  ‧ 專利權人 國立臺灣大學
  ‧ 專利國家
    (申請日)
中華民國 (2003/12/31)
  ‧ 發明人 陳文章, 顏誠廷, 王育文, 謝國煌,
 
技術摘要:
本發明有關一種感光性聚醯亞胺/氧化矽有機無機混成薄膜材料其製備方法及其用途,該方法主要包括藉由溶膠凝膠法製備聚醯胺酸/氧化矽有機無機混成材料,其中聚醯胺酸部份藉由導入一末端含不飽和基團之三級胺,與聚醯胺酸形成酸鹼離子鹽類,與氧化矽進行混成以得到感光性聚醯亞胺/氧化矽有機無機混成薄膜材料。進行光學微影製程後,進行烘烤固化以得到聚醯亞胺/氧化矽有機無機混成薄膜材料所形成之圖型。依據本發明方法製得之薄膜材料具有優異耐熱性、低熱膨脹係數、低介電常數與極佳之光學性質,並具良好之微影解析度與尺寸穩定度。本材料可用於微電子與半導體元件,包括印刷電路板,軟性電路板,半導體介電層材料;以及光電元件,包括液晶螢幕分隔片(Spacer),光學波導,光波導連接器等用途上。



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