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 旋轉式單向凝固單晶生長系統及方法
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刊登日期：2014/05/21 |
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| ‧ 專利名稱 |
旋轉式單向凝固單晶生長系統及方法 |
| ‧ 專利證書號 |
I163292
US6,645,294 B2
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| ‧ 專利權人 |
國立臺灣大學 |
‧ 專利國家
(申請日) |
中華民國 (2001/10/30)
美國 (2002/01/03)
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| ‧ 發明人/PI |
藍崇文,楊雅雯,
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| ‧ 單位 |
化學工程學系
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| ‧ 簡歷/Experience |
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| 技術摘要 / Our Technology： |
本發明提供一種旋轉式單向凝固單晶生長系統，包括一爐管(furnace)、一坩堝(crucible)以及一旋轉支撐裝置。在本發明中，爐管乃是垂直設置且包含一高溫部及一低溫部，坩堝具有一晶種井(seed well)及一生長區(growth region)，在晶種井與生長區中分別設置有一晶種(seed crystal)與一原料物質(raw material)，而且坩堝係相對於爐管自高溫部移動至低溫部，旋轉支撐裝置則支撐並旋轉坩堝，坩堝旋轉的切線速度為不小於5π/3公分/秒。
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| 專利簡述 / Intellectual Properties： |
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聯繫方式 / Contact： |
| 臺大產學合作總中心 / Center of Industry-Academia Collaboration, NTU |
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| Email：ordiac@ntu.edu.tw |
電話/Tel：02-3366-9945 |
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