複合層
  ‧ 專利名稱 複合層
  ‧ 專利證書號 I373868
  ‧ 專利權人 國立臺灣大學
  ‧ 專利國家
    (申請日)
中華民國 (2009/02/16)
美國 (2009/04/28)
  ‧ 發明人 蔡豐羽, 張志宇, 李昀潤,
 
技術摘要:
一種形成複合層的方法,包括:(a)將一基底載入至一反應室中;(b)於該反應室中執行第一週期步驟,以於該基底上形成一氧化鋁(Al2O3)單層;以及(c)室中執行第二週期步驟,以於該基底上形成一氧化鉿(HfO2)單層,其中所述步驟包括:(1)將一包含Al元素之第一反應物注入至該反應室內;(2)自該反應室移除該第一反應物;(3)將一包含O元素之第二反應物注入至該反應室內;(4)自該反應室移除該第二反應物;(5)將一包含Hf元素之第三反應物注入至該反應室內;以及(6)自該反應室移除該第三反應物,第一週期步驟係由步驟(1)至(4)所構成,第二週期步驟係由步驟(3)至(6)所構成。

The invention provides a method for forming a composite membrane, including: (a) loading a substrate into a chamber; (b) performing a first cycle step in the chamber to form a single aluminum oxide (Al2O3) layer; and (c) performing a second cycle step in the chamber to form a single hafnium oxide (HfO2) layer. The steps include: (1) introducing an Al element containing a first reactant into the chamber; (2) removing the first reactant from the chamber; (3) introducing an O element containing a second reactant into the chamber; (4) removing the second reactant from the chamber; (5) introducing an Hf element containing a third reactant into the chamber; and (6) removing the third reactant from the chamber. The first cycle step is composed of steps (1) to (4), and the second cycle step is composed of steps (3) to (6).



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