以粒子相轉移法回收切割矽泥中的矽與碳化矽粉
  ‧ 專利名稱 以粒子相轉移法回收切割矽泥中的矽與碳化矽粉
  ‧ 專利證書號 I392647
  ‧ 專利權人 國立臺灣大學
  ‧ 專利國家
    (申請日)
中華民國 (2009/05/11)
美國 (2009/12/14)
  ‧ 發明人 戴怡德, 林彥志,
 
技術摘要:
本案係提供一種回收晶棒切割矽泥中矽與碳化矽粉的方法,包括下列步驟:(a)由切割矽晶棒後的矽泥中獲得第一樣品;(b)視第一樣品中矽含量的多寡而決定採用二或三階段之粒子相轉移法,若矽含量高於碳化矽;(c)依序混合第一樣品、水及第一油類,獲得第一混合物;(d)靜置第一混合物,將分層後的第一水層加以離心並乾燥,獲得第一產物;(e)再依序混合第一產物、水及第二油類,獲得第二混合物;(f)靜置第二混合物,將分層後的第二水層加以離心並乾燥,獲得第二產物,第二產物即為高純度的矽粉且有極高之產率;(g)將第一油層離心及乾燥,獲得第三產物主要為碳化矽粉;及(h)若程序採用三階段之粒子相轉移法來處理含矽量較低的矽泥時,則在步驟(d)之後,應以第一產物為樣品而重覆第一階段步驟,如此三階段的粒子相轉移法仍可回收得到矽粉。

Silicon and silicon carbide (SiC) are recovered from kerf loss slurries using two-staged particle phase-transfer method. In the first stage, first sample, which is prepared from kerf loss slurries with silicon content being higher than SiC content, is mixed with water and oil to form first mixture, which is settled to form a water and an oil phase. The first product obtained by centrifugation from water phase has a high Si content. In the second stage, the first product is mixed with water and another oil to form the second mixture which is separated thereby to obtain the second product from water phase. The second product is the preferred silicon powder. Besides, another product, i.e. recovered SiC, is obtained by centrifugation from oil phase of the first stage. Furthermore, if silicon content is lower than SiC content, the first stage is repeated using the first product.



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