用以感測化學物質之微型感測器
  ‧ 專利名稱 用以感測化學物質之微型感測器
  ‧ 專利證書號 I346777
US 7,730,767
  ‧ 專利權人 國立臺灣大學
  ‧ 專利國家
    (申請日)
中華民國 (2007/07/20)
美國 (2007/10/26)
  ‧ 發明人 黃榮山, 李世光, 李世元, 吳光鐘, 顏毅廣,
 
技術摘要:
本發明揭露一種用以感測一化學物質之微型感測器。根據本發明之微型感測器包含一基板、一微懸臂樑、一電極結構以及一量測元件。該微懸臂樑係形成於該基板上並且具有用以補捉該化學物質之一補捉面。該電極結構用以提供一電場,該電場係設置致使輔助該補捉面補捉該化學物質。該量測元件係耦接至該微懸臂樑,該量測元件用以量測由被補捉之該化學物質引發該微懸臂樑之一機械性質之一變化量,並且將該變化量轉譯成與該化學物質相關之一資訊。

The invention discloses a micro-sensor for sensing a chemical substance. The micro-sensor according to the invention includes a substrate, a micro-cantilever, an electrode structure, and a measuring device. The micro-cantilever is formed on the substrate and has a capturing surface for capturing chemical substances. The electrode structure is for supplying an electrical field. The electrical field is disposed so as to assist the capturing surface in capturing chemical substances. The measuring device, coupled to the micro-cantilever, is for measuring a variation on a mechanical property of the micro-cantilever induced by the captured chemical substance and interpreting the variation on the mechanical property of the micro-cantilever into information relative to the chemical substance.



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