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光偵測器的製造方法
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刊登日期:2014/05/21 |
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‧ 專利名稱 |
光偵測器的製造方法 |
‧ 專利證書號 |
I360232 7906360
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‧ 專利權人 |
國立臺灣大學 |
‧ 專利國家
(申請日) |
中華民國 (2007/06/12) 美國 (2007/09/14)
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‧ 發明人/PI |
劉致為,林楚軒 ,江彥德 ,徐正璋 ,
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‧ 單位 |
電子工程學研究所
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‧ 簡歷/Experience |
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技術摘要 / Our Technology: |
本發明為一種光偵測器的製造方法,包括:(a)提供一鍺板,該鍺板包括一第一加工區域及一第二加工區域;(b)降低缺陷處理至少該第一加工區域及該第二加工區域其中之一;及(c)於該鍺板上形成一光偵測元件。
A manufacturing process for a photo-detector is provided. The present manufacturing process for a photo-detector comprises the steps of: (a) providing a thin-film Ge on a cheap substrate including a first processing area and a second processing area; (b) performing a defect-reduction processing to at least one of the first processing area and the second processing area; and (c) forming a photo-detector element on the Ge.
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專利簡述 / Intellectual Properties: |
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聯繫方式 / Contact: |
臺大產學合作總中心 / Center of Industry-Academia Collaboration, NTU |
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Email:ordiac@ntu.edu.tw |
電話/Tel:02-3366-9945 |
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