半導體晶圓製造廠之模擬、排程系統 (時間誤差偵測裝置與方法)
刊登日期:2014/05/21
  ‧ 專利名稱 半導體晶圓製造廠之模擬、排程系統 (時間誤差偵測裝置與方法)
  ‧ 專利證書號 201419
  ‧ 專利權人 國立臺灣大學
  ‧ 專利國家
    (申請日)
中華民國 (2002/3/1)
 
  ‧ 發明人/PI 傅立成,林銘宏,黃安志,
  ‧ 單位 電機工程學系
  ‧ 簡歷/Experience
技術摘要 / Our Technology:
本專利所提出之系統主要分為兩個部份,一為模擬器,又分為底層模型與模擬引擎兩個單元,另一為排程器。
在模擬器的底層模型上,本專利使用佇列式加色加時斐氏網路來建立製造廠的模型。此模型的最大特點是改良過去傳統的資源競爭網路,改以一新式資源佇列網路。這個新式資源佇列網路係配合排隊理論的分析,用以減少模擬引擎的模擬時間。模擬引擎便以此模型為基礎來設計,其中並設有一批貨抵達速率更新模組,用來反映廠內批貨的流動率,並藉此更新動作促進模擬器的模擬真實性,保持模擬的精確度。除了上述模擬時間與模擬真實性兩點外,模擬器的底層模型細緻地模擬了製造廠中的各種情況,如機台停工、批貨搬運等,期使本專利提出之模擬器更加逼近真實半導廠之運作情形。
擁有細緻的底層模型及高效能的模擬能力之後,排程器便可倚賴模擬器來作評估最佳排程解的動作。週知遺傳基因演算法在尋優問題上具備全域搜尋最優解的超強能力,而本專利提出的排程器即採用遺傳基因演算法,在藉由模擬器快速完成評估每一排程解的動作之後,進行演算求出最佳之排程解,面對高度複雜性之半導體晶圓廠,本排程器仍具備高速尋求最佳排程之絕佳特點。此外,使用遺傳基因演算法的另一項重點,在於如何將製造廠的排程編碼為一適合演化的個體。在本專利提出的排程器中,我們也提出一種與模擬器底層模型相呼應的編碼方式,此方式不但可提供半導體晶圓廠更適合的排程解,亦可支援以往既有的慣用排程模式。



專利簡述 / Intellectual Properties:




 

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