國立臺灣大學-技術交易網

材料科學與工程學系 - 陳敏璋
	專業技術：半導體電子與光電材料、奈米材料技術

研究介紹

◎研究及專業領域

1.Atomic layer deposition
2.ZnO photonics
3.High-K/metal gate
4.Efficient Si light-emitting diodes
5.Nanoplasmonics and surface enhanced Raman scattering

專利授權區

Transfer-free, direct growth of graphene by atomic layer deposition on oxide surface

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High electron mobility transistors

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金屬通道電晶體

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前驅物循環式原子層沉積設備與方法

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ALD assisted non-resist charged particle beam patterning

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使用原子層沉積技術成長氧化鋅/氧化鋅鎂磊晶薄膜與量子井及其光學性質之研究

本發明揭露一種氧化鋅基半導體發光元件及其製造方法。根據本發明之製造方法，首先，係製備一基材。接著，藉...... more

Fabrication of tin structure based on ALD-assisted non-resist trench nanolithography

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III-V半導體鐵電異質結構

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化學氣相沉積系統與方法

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反鐵電電容(ANTIFERROELECTRIC CAPACITOR)

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Self-focused ion beam lithography using dielectric lens

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金氧半導體元件中矽半導體與閘極絕緣層介面品質檢測系統與方法

一種金氧半導體元件中矽半導體與閘極絕緣層介面品質的檢測方法，其係施加一電流經由閘極至一金氧半導體元件...... more

太陽能電池及其製造方法

一種太陽能電池的製造方法,包括以下步驟。首先,提供第一導電型的矽晶片,其中矽晶片具有彼此相對的第一表...... more

Precise Digital Etching with High Conformity

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高效率矽發光二極體及其製造方法

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Ferroelectoricity in Nanoscale Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition

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可交易技術

可授權技術分類