國立臺灣大學-技術交易網

材料科學與工程學系 - 陳敏璋
	專業技術：半導體電子與光電材料、奈米材料技術

研究介紹

◎研究及專業領域

1.Atomic layer deposition
2.ZnO photonics
3.High-K/metal gate
4.Efficient Si light-emitting diodes
5.Nanoplasmonics and surface enhanced Raman scattering

專利授權區

Transfer-free, direct growth of graphene by atomic layer deposition on oxide surface

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High electron mobility transistors

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金屬通道電晶體Metallic transistors prepared by the atomic layer deposition and doping techniques

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Ferroelectric inductance

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化學氣相沉積設備

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前驅物循環式原子層沉積設備與方法

一種原子層沉積設備，包含一或多個內循環機構、一或多個待鍍物、一或多個進氣管線，以及一或多個氣體擾動...... more

Ferroelectoricity and antiferroelectoricity in oxide thin films

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ALD assisted non-resist charged particle beam patterning

提供一種製備一積體電路的製程。此製程包含提供一基板，並使用原子層沉積或分子層沉積以形成一硬罩幕於基板...... more

Atomic layer engineering on resistive switching in AlN resistive random access memory

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使用原子層沉積技術成長氧化鋅/氧化鋅鎂磊晶薄膜與量子井及其光學性質之研究

本發明揭露一種氧化鋅基半導體發光元件及其製造方法。根據本發明之製造方法，首先，係製備一基材。接著，藉...... more

Fabrication of tin structure based on ALD-assisted non-resist trench nanolithography

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III-V半導體鐵電異質結構

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化學氣相沉積系統與方法

本案提供一種化學氣相沉積系統與方法。於前驅物參與化學反應前，對其導入特定能量，使控制前驅物的物理特性...... more

反鐵電電容(ANTIFERROELECTRIC CAPACITOR)

本公開提出具有一或多個界面層/反鐵電層/界面層堆疊結構的反鐵電電容器。所提出的結構能使反鐵電晶體...... more

無阻擋層選擇性離子層沉積/Inhibitor-Free Area-selective Atomic Layer Deposition

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Self-focused ion beam lithography using dielectric lens

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金氧半導體元件中矽半導體與閘極絕緣層介面品質檢測系統與方法

一種金氧半導體元件中矽半導體與閘極絕緣層介面品質的檢測方法，其係施加一電流經由閘極至一金氧半導體元件...... more

Area-selective Atomic Layer Deposition

一種方法包括在晶片上形成虛設閘極結構。閘極間隔物形成在虛設閘極結構的任一側上。去除虛設閘極結構以在閘...... more

太陽能電池及其製造方法

一種太陽能電池的製造方法,包括以下步驟。首先,提供第一導電型的矽晶片,其中矽晶片具有彼此相對的第一表...... more

n-MOSFET低電壓操作的氮化鈦TiN金屬閘極(Modulation of the work function of TiN metal gate for n-type MOSFETs)

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SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

一種製造半導體裝置的方法，包括形成鰭結構，鰭結構包括位於基板上方的交替堆疊的多個第一半導體層與多個第...... more

用於化學氣相沉積的托盤

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Precise Digital Etching with High Conformity

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高效率矽發光二極體及其製造方法

本發明係揭露一種基於奈米晶粒之光電元件及其製造方法，例如，發光二極體、光偵測器、太陽能電池，等光電元...... more

Ferroelectoricity in Nanoscale Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition

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可交易技術

可授權技術分類