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對於極紫外光具有高反射率與低熱吸收之孔隙結晶面鏡

刊登日期：2015/08/01

‧ 專利名稱	多層反射鏡結構
‧ 專利證書號	I494616
‧ 專利權人	國立臺灣大學
‧ 專利國家 (申請日)	中華民國 (2014/01/28) 美國 (2014/07/31)
‧ 發明人	李佳翰, 李彥旻, 蔡坤諭,

技術摘要：

一種多層反射鏡結構，係用以反射極紫外光(EUV)。該多層反射鏡結構係於一基板上形成交互堆疊之複數層第一材料層以及複數層第二材料層，並且於各該第一材料層定義有複數個低損耗區域，各該低損耗區域係分別具有低損耗結構，以在該極紫外光照射於該低損耗區域時，藉由各該低損耗區域之低損耗結構降低該極紫外光的損耗，而提高各該第一材料層之反射率。

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