三維形貌輪廓量測裝置及其方法
  ‧ 專利名稱 三維形貌輪廓量測裝置及其方法
  ‧ 專利證書號 I485361
US9,858,671B2
  ‧ 專利權人 國立臺灣大學
  ‧ 專利國家
    (申請日)
中華民國 (2013/09/11)
美國 (2014/09/11)
  ‧ 發明人 陳亮嘉,
 
技術摘要:
一種三維形貌輪廓量測裝置及其方法,其係投射一條紋光束以及一光斑光束至一待測物體上,並擷取由該待測物體反射之一變形條紋光束以及變形光斑光束,而得到相應的一條紋影像與一光斑影像。接著,根據該光斑影像決定出該待測物體表面上之每一位置所具有之一絕對相位資訊,並由該絕對相資訊轉換成對應該位置之一絕對深度,以及根據該條紋影像決定出每一位置之相對相位資訊,並由該相對相位資訊轉換成對應該位置之一相對深度。將每一位置所具有之絕對深度與相對深度組合以形成該位置之一深度,進而得到該待測物體之表面形貌。



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