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一種不受外場電流源干擾且具高偵測頻寬的射頻反射式掃描穿隧顯微鏡

刊登日期：2015/01/22

‧ 專利名稱	一種不受外場電流源干擾且具高偵測頻寬的射頻反射式掃描穿隧顯微鏡
‧ 專利證書號	CN105301287B I504900 US 9,304,146 B2 DE102014220698B4
‧ 專利權人	國立臺灣大學
‧ 專利國家 (申請日)	中華民國 (2014/07/17) 美國 (2014/09/19) 中國 (2014/10/13) 德國 (2014/10/13)
‧ 發明人	白偉武, 黎煥欣, 陳怡然, 趙彥錚,

技術摘要：

一種射頻反射式掃描穿隧顯微鏡，具有一與一待測樣品間隔且相對設置的探針，用以掃描該待測樣品的表面樣貌，並包含：一射頻共振電路，其包括一電感以及與電感的一端並聯的一電容、一電阻及一穿隧電阻，其中該穿隧電阻形成於待測樣品與探針之間，一與該電感的另一端電耦接的方向耦合器，一產生一射頻信號並經由該方向耦合器輸出至該射頻共振電路的射頻信號源，以及一射頻信號測量系統，其接收該射頻共振電路經由該方向耦合器傳來的一射頻反射信號，以根據該射頻反射信號反饋控制該探針，並產生一與該待測樣品的表面樣貌有關的掃描結果。

聯繫方式

聯絡人：研發處產學合作總中心	電話： (02)3366-9949

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