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THRUST RIPPLE MAPPING SYSTEM IN A PRECISION STAGE AND METHOD THEREOF(量測平台之漣波驅動系統及其方法)

刊登日期：2014/08/28

‧ 專利名稱	量測平台之漣波驅動系統及其方法
‧ 專利證書號	US 9,331,624 B2
‧ 專利權人	國立臺灣大學
‧ 專利國家 (申請日)	美國 (2013/02/25)
‧ 發明人	顏家鈺, 郭富存, Craig Western,

技術摘要：

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