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製造矽奈米粉末之方法及執行該方法之製造設備
 刊登日期：2023/09/16
  ‧ 專利名稱 製造複數個矽奈米粉末之方法及執行該方法之製造設備
  ‧ 專利證書號 I825621
  ‧ 專利權人 國立臺灣大學
  ‧ 專利國家
    (申請日)		 中華民國 (2022/03/14)
 
  ‧ 發明人/PI 藍崇文
  ‧ 單位 化學工程學系
  ‧ 簡歷/Experience
技術摘要 / Our Technology：
一種製造複數個矽奈米粉末之方法及執行該方法之製造設備。根據本發明之方法係採用複數個鋁粉末與四鹵化矽之反應氣體反應成複數個矽奈米粉末以及三鹵化鋁，進而獲得複數個矽奈米粉末。
專利簡述 / Intellectual Properties：



 

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