|
Ambient temperature inductively coupled plasma enhanced chemical vapor deposition (ICPCVD) method for growth of graphene
|
刊登日期:2022/01/25 |
|
|
|
|
|
‧ 專利名稱 |
|
‧ 專利證書號 |
11232982
|
‧ 專利權人 |
國立臺灣大學 |
‧ 專利國家
(申請日) |
美國 (2020/01/10)
|
|
|
|
‧ 發明人/PI |
吳志毅
|
‧ 單位 |
台積電-臺灣大學聯合研發中心
|
‧ 簡歷/Experience |
|
|
技術摘要 / Our Technology: |
|
專利簡述 / Intellectual Properties: |
|
|
聯繫方式 / Contact: |
臺大產學合作總中心 / Center of Industry-Academia Collaboration, NTU |
|
Email:ordiac@ntu.edu.tw |
電話/Tel:02-3366-9945 |
|
|
|
|
|
|