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BEOL via fabricated by focused helium ion beam
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刊登日期:2021/10/19 |
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‧ 專利名稱 |
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‧ 專利證書號 |
11152251 11626320B2
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‧ 專利權人 |
國立臺灣大學 |
‧ 專利國家
(申請日) |
美國 (2018/04/27) 中華民國 (2018/07/03) 中國 (2018/07/05) 美國 (2021/10/18)
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‧ 發明人/PI |
林浩雄,楊哲維,
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‧ 單位 |
台積電-臺灣大學聯合研發中心
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‧ 簡歷/Experience |
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技術摘要 / Our Technology: |
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專利簡述 / Intellectual Properties: |
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聯繫方式 / Contact: |
臺大產學合作總中心 / Center of Industry-Academia Collaboration, NTU |
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Email:ordiac@ntu.edu.tw |
電話/Tel:02-3366-9945 |
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