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Layers with etching selectivity to fabricate oxide semiconductor-based nanosheet/nanowire 3D transistor
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刊登日期:2025/07/01 |
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| ‧ 專利名稱 |
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| ‧ 專利證書號 |
US12349413B2
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| ‧ 專利權人 |
國立臺灣大學 |
‧ 專利國家
(申請日) |
美國 (2022/06/01) 美國 (2025/06/03)
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| ‧ 發明人/PI |
劉致為
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| ‧ 單位 |
台積電-臺灣大學聯合研發中心
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| ‧ 簡歷/Experience |
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技術摘要 / Our Technology: |
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專利簡述 / Intellectual Properties: |
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聯繫方式 / Contact: |
| 臺大產學合作總中心 / Center of Industry-Academia Collaboration, NTU |
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| Email:ordiac@ntu.edu.tw |
電話/Tel:02-3366-9945 |
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