含濕式化學處理步驟之發供二極體製造方法
刊登日期:2014/05/21
  ‧ 專利名稱 含濕式化學處理步驟之發供二極體製造方法
  ‧ 專利證書號 163513
  ‧ 專利權人 國立臺灣大學
  ‧ 專利國家
    (申請日)
中華民國 (2001/04/23)
 
  ‧ 發明人/PI 劉致為,李敏鴻 ,劉岳修 ,
  ‧ 單位 電子工程學研究所
  ‧ 簡歷/Experience
技術摘要 / Our Technology:
本案係為一種發光二極體製造方法,其包含下列步驟:提供一半導體基板;對該半導體基板進行一濕式化學處理,其中包含將該半導體基板浸泡於一蝕刻溶液中;於完成該濕式化學處理之該半導體基板表面形成一絕緣層,該絕緣層之厚度在3奈米以下;以及於該絕緣層上形成一導體層,進而形成一發光二極體構造。
A light emitting diode manufacturing method comprises following steps. A semiconductor substrate is provided. A wet chemical process is conducted to the semiconductor substrate, which includes immersing the semiconductor substrate in an etching solution. Insulation layer with thickness less than 3 nanometers is formed on the surface of the semiconductor substrate after the wet chemical process is completed. A conducting layer is formed on the insulation layer. A light emitting diode structure is then formed through additional processes.



專利簡述 / Intellectual Properties:




 

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