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 半導體晶圓製造廠之模擬、排程系統 (時間誤差偵測裝置與方法)
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刊登日期：2014/05/21 |
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| ‧ 專利名稱 |
半導體晶圓製造廠之模擬、排程系統 (時間誤差偵測裝置與方法) |
| ‧ 專利證書號 |
201419
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| ‧ 專利權人 |
國立臺灣大學 |
‧ 專利國家
(申請日) |
中華民國 (2002/03/01)
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| ‧ 發明人/PI |
傅立成,林銘宏,黃安志,
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| ‧ 單位 |
電機工程學系
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| ‧ 簡歷/Experience |
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| 技術摘要 / Our Technology： |
本專利所提出之系統主要分為兩個部份，一為模擬器，又分為底層模型與模擬引擎兩個單元，另一為排程器。
在模擬器的底層模型上，本專利使用佇列式加色加時斐氏網路來建立製造廠的模型。此模型的最大特點是改良過去傳統的資源競爭網路，改以一新式資源佇列網路。這個新式資源佇列網路係配合排隊理論的分析，用以減少模擬引擎的模擬時間。模擬引擎便以此模型為基礎來設計，其中並設有一批貨抵達速率更新模組，用來反映廠內批貨的流動率，並藉此更新動作促進模擬器的模擬真實性，保持模擬的精確度。除了上述模擬時間與模擬真實性兩點外，模擬器的底層模型細緻地模擬了製造廠中的各種情況，如機台停工、批貨搬運等，期使本專利提出之模擬器更加逼近真實半導廠之運作情形。
擁有細緻的底層模型及高效能的模擬能力之後，排程器便可倚賴模擬器來作評估最佳排程解的動作。週知遺傳基因演算法在尋優問題上具備全域搜尋最優解的超強能力，而本專利提出的排程器即採用遺傳基因演算法，在藉由模擬器快速完成評估每一排程解的動作之後，進行演算求出最佳之排程解，面對高度複雜性之半導體晶圓廠，本排程器仍具備高速尋求最佳排程之絕佳特點。此外，使用遺傳基因演算法的另一項重點，在於如何將製造廠的排程編碼為一適合演化的個體。在本專利提出的排程器中，我們也提出一種與模擬器底層模型相呼應的編碼方式，此方式不但可提供半導體晶圓廠更適合的排程解，亦可支援以往既有的慣用排程模式。
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| 專利簡述 / Intellectual Properties： |
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聯繫方式 / Contact： |
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