長晶設備及方法
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本案提供一種長晶設備及一種長晶的方法。該長晶設備係用以使一原料長晶,且使垂直於該原料生長方向之平面的...... more
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製造氮化矽坩堝之方法
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本發明之方法首先係使用包含多顆矽顆粒且較稀的第一漿料於石膏模具的內壁上形成薄層濾餅,接著使用包含多顆...... more
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回收矽泥之方法
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於晶棒切割成矽晶片時,平均約有40%的矽因為切割線本身的寬度而損耗掉,這些矽泥以污泥的方式被丟棄或...... more
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切割矽泥回收方法
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本發明之切割矽泥回收係在於晶棒切割成矽晶片時,平均約有40%的矽因為切割線本身的寬度而損耗掉,這些...... more
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