技術摘要: |
本發明提供一種觸覺感測陣列及其製作方法,其具有至少一感測元件,感測元件包含:覆蓋層、基板、聚醯亞胺膜層、第一電極、第二電極、奈米碳管層以及聚二甲基矽氧烷層。第一電極以及第二電極係形成於聚醯亞胺膜層,第一電極與第二電極係相間隔一距離。奈米碳管層係完全填滿第一電極與第二電極間。奈米碳管係有規則地排列於第一電極與第二電極間。利用介電泳使奈米碳管規則排列於兩電極間,藉由量測奈米碳管電阻改變率以感測其壓力値。
|
聯繫方式 |
聯絡人:
研發處產學合作總中心 |
電話:
(02)3366-9949 |
|
地 址:
10617臺北市大安區羅斯福路四段1號 禮賢樓六樓608室 |
|
|
|
|