觸覺感測陣列及其製作方法 刊登日期:2014/05/21
  ‧ 專利名稱 觸覺感測陣列及其製作方法
  ‧ 專利證書號 I444873
  ‧ 專利權人 國立臺灣大學
  ‧ 專利國家
    (申請日)
中華民國 (2011/07/22)
  ‧ 發明人 陳永明, 賴昱澤, 楊燿州,
 
技術摘要:
本發明提供一種觸覺感測陣列及其製作方法,其具有至少一感測元件,感測元件包含:覆蓋層、基板、聚醯亞胺膜層、第一電極、第二電極、奈米碳管層以及聚二甲基矽氧烷層。第一電極以及第二電極係形成於聚醯亞胺膜層,第一電極與第二電極係相間隔一距離。奈米碳管層係完全填滿第一電極與第二電極間。奈米碳管係有規則地排列於第一電極與第二電極間。利用介電泳使奈米碳管規則排列於兩電極間,藉由量測奈米碳管電阻改變率以感測其壓力値。



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