專利公告 Patents
製造氮化矽坩堝之方法
刊登日期：2020/08/21
| ‧ 專利名稱 | 製造氮化矽坩堝之方法 |
| ‧ 專利證書號 | I702315 |
| ‧ 專利權人 | 國立臺灣大學 |
| ‧ 專利國家 (申請日) |
中華民國 (2019/05/08) |
| ‧ 單位 | 前瞻綠色材料高值化研究中心 |
| ‧ 發明人 / PI | 藍崇文 |
| ‧ 簡歷 / Experience |
技術摘要 / Our Technology：
本發明之方法首先係使用包含多顆矽顆粒且較稀的第一漿料於石膏模具的內壁上形成薄層濾餅，接著使用包含多顆矽顆粒且較濃的第二漿料，對石膏模具進行注漿成型製程，以形成生坯，再對生坯進行乾燥處理、煅燒處理、脫氧處理，且在特定升溫速率控制下進行氮化處理，即完成氮化矽坩堝。
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