專利公告 Patents
嵌入式蕭基超接面元件結構與製造方式
刊登日期:2022/11/16
技術摘要 / Our Technology:
一種嵌入式蕭特基非對稱型超接面功率半導體,包含半導體基板,及多個相鄰地設置在半導體基板上的電晶體單元。每一個該電晶體單元包括本體、閘極、源極、摻雜區,及金屬單元。本體包括第一柱狀部、二分別位在第一柱狀部兩側的第二柱狀部,及一頂面。閘極設置在頂面。源極位在本體內且鄰近閘極一側,並包括由第一柱狀部往相鄰的第二柱狀部延伸的井區。摻雜區位在第一柱狀部內,且與源極間隔地位在閘極另一側,而讓第一柱狀部的部分表面露出,其中,摻雜區結構不同於源極,且其半導體特性不同於第一柱狀部。金屬單元覆蓋閘極與源極,並與第一柱狀部露出的部分表面直接接觸,從而形成蕭特基接觸。
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