專利公告  Patents


High inter-channel uniformity of channel stacking by reverse-tapered fin

刊登日期:2023/10/03

 
  ‧ 專利名稱 半導體裝置及其製造方法
  ‧ 專利證書號 CN219800858U
I872516
  ‧ 專利權人 國立臺灣大學
  ‧ 專利國家
    (申請日)
美國 (2022/06/01)
中華民國 (2023/04/21)
中國 (2023/05/09)
  ‧ 單位 台積電-臺灣大學聯合研發中心 
  ‧ 發明人 / PI 劉致為
  ‧ 簡歷 / Experience

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