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共軛光學模組以及共軛光學之彩色共焦量測系統
刊登日期:2022/12/21
技術摘要 / Our Technology:
本發明提供一種共軛光學之彩色共焦量測系統,包括有一光源模組用以產生一偵測光、一微透鏡陣列、一第一空間調製元件、一光學模組、一第二空間調製元件、一空間轉換模組以及一偵測模組。該微透鏡陣列設置於該偵測光的光路上,用以將該偵測光聚焦成一點光源陣列。該第一空間調製元件包括有一第一開口陣列與該點光源陣列對應。該光學模組將該點光源陣列色散投射至一待測物上,以形成一第一測物光陣列。該第二空間調製元件具有一第二開口陣列與該第一開口陣列成共軛對應以接收該測物光陣列。該空間轉換模组與該第二空間調製元件耦接,用以將該測物光陣列轉換成具有一空間分佈的第二測物光陣列。該偵測模組接收該空間分佈的第二測物光陣列,並將該空間分佈的第二測物光陣列轉換成一光譜資訊。該光譜資訊可藉由適當峰值偵測演算法以及系統之深度反應校正曲線之轉換,可求得被測物體之形貌資訊。同時,藉由二維振鏡之掃描,可達到被測物體之全域三維形貌量測與重建之能力。
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