專利公告 Patents
Straight {110} sidewalls of inner spacer by multiple layers
刊登日期：2024/04/19
| ‧ 專利名稱 | |
| ‧ 專利證書號 | CN220821569U I868706 US12389635B2 |
| ‧ 專利權人 | 國立臺灣大學 |
| ‧ 專利國家 (申請日) |
美國 (2022/08/17) 中華民國 (2023/05/24) 中國 (2023/07/24) 美國 (2025/06/30) |
| ‧ 單位 | 台積電-臺灣大學聯合研發中心 |
| ‧ 發明人 / PI | 劉致為 |
| ‧ 簡歷 / Experience |
技術摘要 / Our Technology：
聯繫方式 / Contact：
臺大產學合作總中心 / Center of Industry-Academia Collaboration, NTU
Email：ordiac@ntu.edu.tw
電話/Tel：02-3366-9945