‧ 專利名稱	具有圓柱體結構之多層反射鏡
‧ 專利證書號	I902180
‧ 專利權人	國立臺灣大學
‧ 專利國家     (申請日)	中華民國 (2024/03/20)
‧ 單位	工程科學及海洋工程學系
‧ 發明人 / PI	李佳翰,王志中,蔡坤諭
‧ 簡歷 / Experience

本發明提供一種具有圓柱體結構之多層反射鏡，其透過設置具有一第一半徑之至少一第一矽光學元件；以及具有一第二半徑之至少一第一鉬光學元件，每一該第一鉬光學元件設置於每一該第一矽光學元件上，該第二半徑大於2倍之該第一半徑，本發明之結構能夠直接應用於當前極紫外光之微影製程中，在不必改變機台以及製程方法的同時，於微影製程中降低能量損耗。

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