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測量距離的干涉量測方法與系統
刊登日期:2025/04/21
技術摘要 / Our Technology:
本發明提供一種測量距離的干涉量測方法,包括有以下步驟:首先提供一干涉量 測系統,具有一光源模組,以及與該光源模組電性連接的一電流控制單元。接著,以該干涉量測系統量測與一待測物之一預估距離第一絕對距離。然後,根據該預估距離第一絕對距離控制該電流控制單元輸出一第一控制電流驅動該光源模組產生一偵測光,投射至該待測物反射形成一測物光。再使該測物光與一參考光干涉形成一干涉光。之後,擷取關於該干涉光的一干涉訊號。最後,根據該干涉訊號決定該待測物之一量測距離位移。根據該位移決定一第二絕對距離,根據該第二絕對距離控制該電流控制單元改變該控制電流,以驅動該光源模組改變該偵測光的一波長變化量。
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